Публикации участников конференции

Англо-русскоязычный научный химический журнал
"БУТЛЕРОВСКИЕ СООБЩЕНИЯ" СЕРИЯ "А"
Русский | English

Сведения о статье:

Бухараев А. А. , Нургазизов Н. И. , Можанова А. А. , Овчинников Д. В. Наноструктуры. Часть I. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ СЕЛЕКТИВНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО ДИОКСИДА КРЕМНИЯ

Данные о статье:
Название статьи:	Наноструктуры. Часть I. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ СЕЛЕКТИВНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО ДИОКСИДА КРЕМНИЯ
Все авторы публикации в порядке следования:	Бухараев А. А. , Нургазизов Н. И. , Можанова А. А. , Овчинников Д. В.
Аннотация:	Мы использовали атомно-силовой микроскоп (АСМ) для наблюдения in-situ процессов травления SiO2 в водном растворе HF. Эта работа посвящена АСМ изучению приповерхностного слоя SiO2, модифицированного высокодозовой имплантацией ионов Fe+. Такие образцы представляют собой двухфазный наноструктурированный объект (SiO2 с диспергированными в нем наночастицами Fe). Формирование и развитие нанорельефа во время травления наблюдалось in-situ с помощью АСМ. Затем при помощи программы морфинга на основе экспериментальных АСМ-изображений был создан компьютерный фильм, наглядно демонстрирующий происходящие процессы. Дополнительно проведенные in-situ измерения коэффициента оптического поглощения от наночастиц Fe во время травления, АСМ-измерения ex-situ и также измерения ферромагнитного резонанса от наночастиц позволяет предложить, что наблюдаемая морфология процесса связана с тем, что скорость травления наночастиц Fe - намного выше скорости травления SiO2. Подобный механизм травления был использован для компьютерного моделирования трансформации АСМ-изображения двухфазной наноструктуры. Хорошая корреляция моделируемых и экспериментальных изображений АСМ, а также совпадение соответствующих кривых зависимости шероховатости поверхности от времени травления подтверждают корректность данной структурной модели.
ROI:	jbc-01/0-1-3-25
Ключевые слова:	атомно-силовой микроскоп, SiO2, HF, травление, механизм, нанорельеф, компьютерное моделирование.
Общий форум статьи:	Смотреть форум
Шапка статьи в pdf:	Скачать [размер файла: 199кб.] Дата: 15.03.2006 18:06:42
Комментарий: